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氣體凈化與特種氣體除雜——吸附

更新時(shí)間：2022-08-25　點(diǎn)擊量：2181

　　氣體凈化與特種氣體除雜——吸附多晶硅，灰色金屬光澤，溶于氫氟酸和硝酸的混酸中，不溶于水、硝酸和鹽酸。高溫熔融狀態(tài)下，具有較大的化學(xué)活潑性質(zhì)，能與幾乎任何材料作用，具有半導(dǎo)體性質(zhì)，是極為重要的優(yōu)良半導(dǎo)體材料，但是微量的雜質(zhì)即可大大影響其導(dǎo)電性。

　　電子工業(yè)中廣泛應(yīng)用于制造各類(lèi)產(chǎn)品，由干燥硅粉與干燥氯化氫氣體在一定條件下氯化，再經(jīng)冷凝、精餾、還原而得。

　　多晶硅是生產(chǎn)單晶硅的直接原料，是當(dāng)代人工智能、自動(dòng)控制、信息處理、光電轉(zhuǎn)換等半導(dǎo)體器件的電子信息基礎(chǔ)材料，被稱為“微電子大廈的基石”。

　　而在生產(chǎn)過(guò)程中由于氣體雜質(zhì)的存在，對(duì)半導(dǎo)體材料的危害也是很大的，為了得到高質(zhì)量的多晶硅和單晶硅，因此在氣體前必須將氣體進(jìn)行凈化。凈化的方法有很多，在氣體凈化技術(shù)中，經(jīng)常綜合運(yùn)用以下幾個(gè)方面的知識(shí)；

　　用吸濕性液體干燥劑(液堿、硫酸等)進(jìn)行吸收；

　　用固體干燥劑：KOH、CuSO4、CaCl2過(guò)氯酸鎂等進(jìn)行化學(xué)吸收，用硅膠、分子篩等進(jìn)行物理吸收；

　　用催化劑進(jìn)行化學(xué)催化；

　　用冷媒或冷劑(液態(tài)氮等)進(jìn)行低溫冷凍；

　　其中吸附劑的種類(lèi)有很多，目前我國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)中廣泛應(yīng)用的還是硅膠分子篩酯類(lèi)的吸附劑。

　　化學(xué)催化反應(yīng)是指存在于氣體中的有害雜質(zhì)有時(shí)不能靠物理的方法從氣體中去除，而是借助催化劑的作用，使氣體中的雜質(zhì)被吸附在催化劑表面，使雜質(zhì)與氣體中的其他組分相互起化學(xué)反應(yīng)轉(zhuǎn)化為無(wú)害的化合物，這猴子那個(gè)方法被稱為化學(xué)催化。

　　海普開(kāi)發(fā)的氣體凈化與特種氣體除雜——吸附工藝，采用自主研發(fā)的吸附催化產(chǎn)品，可針對(duì)性解決半導(dǎo)體行業(yè)中的氣體凈化與特種氣體除雜。

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氣體凈化與特種氣體除雜——吸附